静電チャック

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩見谷周志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996323581
Publication number (International publication number)：1998150098
Application date： Nov. 19, 1996
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】ウエハとの密着性が良いために放熱性に優れ、かつ耐プラズマ性にも優れる静電チャックの提供。【解決手段】金属基板上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第1絶縁層、該第1絶縁層上に形成された導電性パターン、および該導電性パターン上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第2絶縁層であって、硬度が85以下、かつ表面粗さが5μm以下の該第2絶縁層からなる静電チャック。

Claim (excerpt)：

金属基板上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第1絶縁層、該第1絶縁層上に形成された導電性パターン、および該導電性パターン上に形成され、二価のパーフルオロポリエーテル基を主鎖構造中に有するゴムからなる第2絶縁層であって、硬度が85以下、かつ表面粗さが5μm以下の該第2絶縁層からなる静電チャック。

IPC (5)：

H01L 21/68 , B05C 11/08 , B25J 15/06 , C23C 14/50 , H02N 13/00

FI (5)：

H01L 21/68 R , B05C 11/08 , B25J 15/06 S , C23C 14/50 A , H02N 13/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

耐食性静電チャック
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-014327 Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
硬化性フルオロポリエーテル系ゴム組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-092989 Applicant：信越化学工業株式会社
静電チヤツク
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-246965 Applicant：東陶機器株式会社

Show all

Return to Previous Page