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J-GLOBAL ID：200903009022316152

振動ミラー、振動ミラーの製造方法、光走査装置、光書込装置および画像形成装置

Inventor： 佐藤 幸人 ,  藤井 光美 ,  大高 剛一
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (2)： 鈴木 誠 ,  大浦 一仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003009374
Publication number (International publication number)：2004219889
Application date： Jan. 17, 2003
Publication date： Aug. 05, 2004
Summary：

【課題】共振周波数のばらつきの問題点を解決し、個別に共振周波数を高精度に調整することを可能にする。【解決手段】振動ミラーの反射面としての金属薄膜130が形成されている面と反対側の面には、2つの質量片として紫外線硬化型の樹脂131、132が回転軸に対して対称でかつ、両者を結ぶ線がミラー重心を通るような位置に付着させ、共振周波数を調整する。回転軸に対して対称に配置することで、往復振動時の動作の再現性を確保し、ミラー重心に対称配置することで、梁方向の動作の均一性を確保し、不要な振動発生を抑える。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

光ビームを反射するミラー基板と、ミラー基板を支持する同一直線上に設けられた2本の梁と、前記ミラー基板に回転力を発生するミラー駆動手段とを有し、前記ミラー基板を前記梁をねじり回転軸として、所定の走査周波数で往復振動する振動ミラーであって、前記ミラー基板の少なくとも1箇所に質量片を付着し、共振周波数を可変にすることを特徴とする振動ミラー。

IPC (2)：

G02B26/10 ,  B81B3/00

FI (3)：

G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  B41J3/00 D

F-Term (5)：

2C362BA18 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• プレーナ型ガルバノミラー及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-228300   Applicant：ミヨタ株式会社
• 特開平1-102418
  
• ガルバノ装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-024043   Applicant：ミヨタ株式会社
• 光走査装置及び画像形成装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-056304   Applicant：株式会社リコー