プレーナ型ガルバノミラー及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000228300
Publication number (International publication number)：2002040355
Application date： Jul. 28, 2000
Publication date： Feb. 06, 2002
Summary：

【要約】【課題】共振周波数が狙い値よりはずれても後工程で良品化が可能なプレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法を提供する。【解決手段】可動板の両端に質量負荷部を形成したプレーナ型ガルバノミラーとする。該プレーナ型ガルバノミラーを動作させながら初期共振周波数と予め設定されたねらいの共振周波数の差を読みとり、照射するレーザーパルス数を計算する工程と、前記照射するレーザーパルス数に基づきレーザーを質量負荷部に照射して質量を減少して周波数を調整し、ねらい値に追い込む工程によりプレーナ型ガルバノミラーを製造する。また、質量負荷部の形成されたプレーナ型ガルバノミラーを動作させる工程と、該プレーナ型ガルバノミラーの初期共振周波数と予め設定されたねらいの共振周波数の差を読みとり、照射する樹脂量を計算する工程と、前記計算された照射する樹脂量に基づき樹脂を質量負荷部に照射し、質量を増加して周波数を調整する工程とによりプレーナ型ガルバノミラーを製造する。

Claim (excerpt)：

半導体基板に平板状の可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可動板に通電により磁界を発生する平面コイルとミラーを設け、該半導体基板を台座基板に搭載し、該台座基板と前記半導体基板のトーションバーの軸方向と平行に配置された可動板の平面コイルに磁界を作用させるための対をなす永久磁石とヨークをベース基板に固定し、前記ベース基板に設けられたパターン部と前記半導体基板に形成されたパターン部が電気的に接続されて成るプレーナ型ガルバノミラーにおいて、前記可動板の両端に質量負荷部を形成したことを特徴とするプレーナ型ガルバノミラー。

IPC (4)：

G02B 26/10 104 , B41J 2/44 , G02B 26/08 , H04N 1/113

FI (4)：

G02B 26/10 104 Z , G02B 26/08 E , B41J 3/00 D , H04N 1/04 104 Z

F-Term (19)：

2C362BA17 , 2C362BA18 , 2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC04 , 2H041AZ08 , 2H045AB10 , 2H045AB16 , 2H045AB38 , 2H045AB73 , 2H045BA02 , 5C072AA03 , 5C072BA20 , 5C072DA04 , 5C072DA23 , 5C072HA02 , 5C072HA14 , 5C072XA01 , 5C072XA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

光偏向器及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-313488 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
特開平1-102418

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