スケールの検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001262605
Publication number (International publication number)：2003075198
Application date： Aug. 31, 2001
Publication date： Mar. 12, 2003
Summary：

【要約】【課題】マスタスケールの読取が所定値になってから被検査スケールの検出ヘッドの読取値を得るまでの時間差を極力抑えてより正確な検査測定を可能とする。【解決手段】マスタスケールの検出ヘッドから出力される計数パルスにより所定値からダウンカウントしてゼロになったときにトリガ信号を出力する。このトリガ信号により被検査スケールのカウンタのデータをホールドすることにより、所定位置に駆動ステージが到達してから最小限の時間差で被検査スケールのカウント値を得ることができる。従って、マスタスケールと被検査スケールが載置される駆動ステージを止まること無く一定速度で移動続けていても検査測定が可能かつ検査時間の短縮が図れる。

Claim (excerpt)：

マスタスケール及び被検査スケールを載置して一定速度で移動可能な駆動ステージと、このマスタスケールに対向すると共に相対変位を検出して第1の計数パルスを出力する第1の検出ヘッドと、プリセットされた所定検査間隔に基づく所定値から、この第1の計数パルスをダウンカウントしてゼロになったときにトリガ信号を発信する第1のカウンタと、前記被検査スケールに対向すると共に相対変位を検出して第2の計数パルスを出力する第2の検出ヘッドと、この第2の計数パルスをカウントする第2のカウンタと、を備え、前記トリガ信号により第2のカウンタの値を取得すると共に第1のカウンタに所定値を再プリセットして、前記マスタスケールに対する被検査スケールの指示位置との差分を算出することを特徴とするスケールの検査装置。

IPC (3)：

G01D 5/245 102 , G01D 5/36 , G01D 18/00

FI (3)：

G01D 5/245 102 D , G01D 5/36 G , G01D 18/00

F-Term (24)：

2F076AA02 , 2F076AA06 , 2F076AA07 , 2F077AA20 , 2F077AA48 , 2F077CC02 , 2F077CC08 , 2F077JJ03 , 2F077NN05 , 2F077NN27 , 2F077PP01 , 2F077PP21 , 2F077QQ02 , 2F077QQ17 , 2F077TT71 , 2F103BA00 , 2F103BA33 , 2F103CA04 , 2F103CA05 , 2F103DA12 , 2F103EA15 , 2F103ED12 , 2F103ED24 , 2F103FA18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

エンコーダの校正方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-108116 Applicant：三菱重工業株式会社
特開平3-202713

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