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J-GLOBAL ID：200903009212205748

静電チャックコネクタとそのコンビネ-ション

Inventor： シャモウイル シャモウイリアン ,  アナンダ エイチ. クマール ,  アーノルド ヴィ. コロデンコ ,  グリマード デニス エス. ,  リャン-グオ ワン ,  ゲルハルト シュナイダー ,  マイケル ジー. チャフィン ,  セムヨン エル. キャッツ ,  アレクサンダー エム. ヴェフサー ,  セン タッハ
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999354865
Publication number (International publication number)：2000188321
Application date： Dec. 14, 1999
Publication date： Jul. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】標準の或いは商業的に利用可能な電気コネクタ及び電気導体が、コネクタの底部に接続可能で、DCチャッキング電圧とRFバイアス電源をチャック電極に印加するのに使用可能なように、チャックは、DCチャッキング電圧及びRFバイアス電源を、コネクタの頂部と底部間に伝導される熱を減らすのを少なくとも助ける熱インピーダンスを含むチャック電極に印加するコネクタを含む。【解決手段】先行技術の不利な点を克服し、本発明を具体化する半導体ウェハチャックは、チャックボディ、チャックに埋め込まれた電極、ならびに接続している高周波バイアス電源及び/又はDCチャッキング電圧を埋め込み式電極に接続するコネクタを含む。

Claim (excerpt)：

チャックボディと、前記チャックボディに埋め込まれる(embedded)少なくとも1つの電極と、電気接続を前記電極に供給するコネクタとを含み、前記コネクタは、少なくとも第1のコネクタ部材と第2のコネクタ部材とを含み、前記第1のコネクタ部材は、電気的且つ機械的に前記電極に接続され、前記第1と第2のコネクタ部材の内の一方は、弾力性バナナコネクタ(resilient banana connector)を含み、前記第1と第2のコネクタ部材の内のもう一方は、前記第1コネクタ部材と第2のコネクタ部材を機械的且つ電気的に相互接続させるように、前記弾力性バナナコネクタに接続される相補型弾力性バナナコネクタ(complementary resilient banana connector)を備える、半導体ウェハチャック装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (2)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 一方向導電カプラ層を有する静電チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-084213   Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• プラグ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-300699   Applicant：松下電工株式会社
• 大電流用端子及び加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-049130   Applicant：矢崎総業株式会社