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J-GLOBAL ID：200903088086058715

一方向導電カプラ層を有する静電チャック

Inventor： アーノルド コロデンコ ,  アレキサンダー エム. ヴェイツァー ,  シャモウイル シャモウイリアン
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998084213
Publication number (International publication number)：1998313048
Application date： Mar. 30, 1998
Publication date： Nov. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 安全で高い導通電気接続を与える一方、周囲のチャック構造体への電荷の漏出が低い静電チャック。【解決手段】 本発明のチャックは静電部材を備え、この静電部材は、(i)電極と、(ii)電気絶縁保持面と、(iii)電極に電気量を導くための電気接触面と、を有している。電圧供給ターミナルから接触面へのほぼ一方向にだけ電荷を導通させて電極に電気量を与えるよう、一方向導通カプラ層を接触面に接着する。

Claim (excerpt)：

プロセスチャンバ内で基板を保持するための静電チャックであって、前記静電チャックに電荷を与えるための電圧供給ターミナルを有し、前記静電チャックは、絶縁保持面に覆われた電極と、前記電極への電気量を導通させるための電気接触面とを有し、前記電気接触面に一方向導電カプラが電気的に結合し、前記電圧供給ターミナルから前記電気接触面へのほぼ一方向にだけ電荷を導通させて、前記電極へ電気量を導通させる静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 多電極静電チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-180180   Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 特開平4-163878