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J-GLOBAL ID：200903009529597730

固体撮像素子用マイクロレンズアレイ及びそれを用いた固体撮像素子

Inventor：
古賀 修

About 古賀 修

, 
石松 忠

About 石松 忠

, 
福吉 健蔵

About 福吉 健蔵


Applicant, Patent owner：
凸版印刷株式会社

About 凸版印刷株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999116472
Publication number (International publication number)：2000304906
Application date： Apr. 23, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】固体撮像素子の受光部の受光効率を上げ、固体撮像装置の感度や画質を向上できるマイクロレンズアレイ及び固体撮像素子を提供することを目的とする。【解決手段】半導体基板11に受光部12、遮光部13、平坦化層14、カラーフイルター層15及びオーバーコート層16を形成し、あらかじめ波長450nmでの消衰係数が0.57×10-3になるように調整されたポジ型レジスト(JSR(株)製)にて樹脂パターン層を形成し、130°Cで加熱・軟化させることにより凸レンズ状のマイクロレンズ21及びマイクロレンズアレイ22を有する固体撮像素子10を得る。さらに、マイクロレンズ21上に、あらかじめ波長450nmでの屈折率が1.45になるように調合されたアクリル系樹脂にて0.09μm厚の充填率改善層31を形成したマイクロレンズアレイ32を有する固体撮像素子20を得る。
Claim (excerpt)：
水平方向と垂直方向に二次元的に配置された受光部を有する固体撮像素子上に形成されたマイクロレンズアレイにおいて、前記マイクロレンズアレイを構成しているマイクロレンズの消衰係数が波長450nmで1.82×10-3以下であることを特徴とする固体撮像素子用マイクロレンズアレイ。
IPC (4)：
G02B 3/00 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/0232 ,  H04N 5/335
FI (4)：
G02B 3/00 A ,  H04N 5/335 V ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/02 D
F-Term (25)：
4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118CA02 ,  4M118EA20 ,  4M118FA06 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AA01 ,  5C024CA00 ,  5C024EA04 ,  5C024EA08 ,  5C024FA01 ,  5C024GA01 ,  5F088BA01 ,  5F088BB03 ,  5F088EA06 ,  5F088HA02 ,  5F088HA20 ,  5F088JA12 ,  5F088LA03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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