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J-GLOBAL ID：200903009544893583

イオン源

Inventor： 渡辺 文夫 ,  宮本 和夫
Applicant, Patent owner： 助川電気工業株式会社 ,  株式会社ムサシノエンジニアリング
Agent (1)： 北條 和由
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998206115
Publication number (International publication number)：2000039375
Application date： Jul. 22, 1998
Publication date： Feb. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】 イオン源の作動中における電子コレクターのガスの吸着を無くし、ESDの影響を受けないようにする。【解決手段】 イオン源は、真空状態に維持される気密な真空チャンバー5と、この真空チャンバー5内に配置され、同真空チャンバー5内に電子を発射する電子エミッター1と、この電子エミッター1から発射された電子を保持し、且つ運動させる電子コレクター2と、真空チャンバー5内で発生したイオンを引き出すイオンコレクター3とを有する。さらに電子衝撃以外の手段で前記電子コレクター2を加熱する加熱手段を有する。電子コレクター2からのガスの拡散によるガス放出が増大する600°C以上の昇温は避けると共に、ガス分子の吸着を確実に防止できる温度範囲として、400〜600°Cの温度範囲に設定する。

Claim (excerpt)：

真空状態に維持される気密な真空チャンバー(5)と、この真空チャンバー(5)内に配置され、同真空チャンバー(5)内に電子を発射する電子エミッター(1)と、この電子エミッター(1)から発射された電子を保持し、且つ運動させる電子コレクター(2)と、真空チャンバー(5)内で発生したイオンを引き出すイオンコレクター(3)とを有するイオン源において、電子衝撃以外の手段で前記電子コレクター(2)を加熱する加熱手段を有することを特徴とするイオン源。

IPC (4)：

G01L 21/30 ,  G01N 27/62 ,  G01N 27/68 ,  H01J 41/06

FI (4)：

G01L 21/30 A ,  G01N 27/62 G ,  G01N 27/68 B ,  H01J 41/06

F-Term (7)：

2F055AA11 ,  2F055BB08 ,  2F055CC48 ,  2F055DD20 ,  2F055EE40 ,  2F055FF11 ,  2F055GG11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-006431
  
• 電離真空計の制御装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-306308   Applicant：日電アネルバ株式会社