Pat
J-GLOBAL ID:200903009570687495
多重バンドパスフィルタ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
,
Agent (2):
菊池 治
, 大胡 典夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004202695
Publication number (International publication number):2006023601
Application date: Jul. 09, 2004
Publication date: Jan. 26, 2006
Summary:
【課題】 複数の透過帯域間のアイソレーションが十分に大きく、1つのフィルタによっても複数の異なる波長域の光の分離がより確実に行える多重バンドパスフィルタを提供する。【解決手段】 基板2上に、屈折率、材質の異なる2種類の誘電体を、光学膜厚が参考波長λ/4を1単位として積層したミラー層、キャビティ層等を設け、複数のファブリペロー干渉計構造を形成してなる薄膜積層部3を備えたフィルタで、薄膜積層部3は、誘電体膜をX,Yとし、ミラー層をM、キャビティ層をC、マッチング層をTとした時の積層関係が、[M0C1M1......CiMi(T)]k または、[M0C1M1......CiMi]k 但し、i,kは、2以上の整数であり、Mは、光学膜厚をλ/4の奇数倍としたXまたはYの単層である。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
対象光に透明な基板上に、それぞれ屈折率及び材質の異なる2種類の誘電体を、光学膜厚が参考とする波長の4分の1を1単位として積層した、ミラー層、キャビティ層及び必要に応じマッチング層を設け、複数のファブリペロー干渉計構造を形成してなる薄膜積層部を備えた多重バンドパスフィルタであって、
前記薄膜積層部が、前記誘電体の膜をX,Yとし、前記ミラー層をM、前記キャビティ層をC、前記マッチング層をTとしたときに、これらの積層関係の基本式が、
[M0C1M1......CiMi(T)]k
または、[M0C1M1......CiMi]k
但し、i,k:2以上の整数
であり、
Mは、膜の光学厚さが参考波長の4分の1の奇数倍である単層、または異なる
誘電体X,Yによる奇数倍の[(2p+1)X,(2q+1)Y,......]
で示される交互層(但し、p,q,......は0または正の整数)、
Cは、膜の光学厚さが参考波長の4分の1の偶数倍である単層、または異なる
誘電体X,Yによる偶数倍の[(2r)Y,(2s)X,......]で示され
る交互層(但し、r,s,......は0または正の整数)、
Tは、膜の光学厚さが参考波長の4分の1の奇数倍である単層、
である構成となっているか、
または、前記基本式の構造の任意位置に、厚さが参考波長の4分の1の偶数倍の誘電体X,Yの少なくとも一方を、単独または複数挿入してなることを特徴とする多重バンドパスフィルタ。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (7):
2H048GA04
, 2H048GA13
, 2H048GA15
, 2H048GA43
, 2H048GA48
, 2H048GA56
, 2H048GA62
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
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特公平5-26162号公報
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特公昭60-38682号公報
-
特公昭60-38683号公報
Cited by examiner (4)
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多層薄膜絶縁体バンドパスフィルタおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-304642
Applicant:ジェイディーエスフィテルインコーポレイテッド
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ファブリペローフィルタ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-319865
Applicant:日本板硝子株式会社
-
多層光学干渉薄膜の膜厚制御方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-362095
Applicant:日本真空光学株式会社
-
光学フィルタ
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2002-546893
Applicant:キネテイツク・リミテツド
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