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J-GLOBAL ID：200903009610746619

耐熱性反射防止膜付き光学部品

Inventor： 塩野 嘉幸 ,  渡辺 聡明 ,  丹野 雅行 ,  流王 俊彦
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小宮 良雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996001566
Publication number (International publication number)：1997189801
Application date： Jan. 09, 1996
Publication date： Jul. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 250°C以上の高温下でも反射率が増加することがなく、安定した光学特性が得られる耐熱性反射防止膜付き光学部品を提供する。【解決手段】 耐熱性反射防止膜付き光学部品は、250°C以上に加熱される光学部品の少なくとも片面に、TiOX(Xは1.9〜2.2)薄膜2からなる反射防止膜が形成されている。TiOX薄膜2にSiO2薄膜3が積層されている。

Claim (excerpt)：

250°C以上に加熱される光学部品の少なくとも片面に、TiOX(Xは1.9〜2.2)薄膜からなる反射防止膜が形成されていることを特徴とする耐熱性反射防止膜付き光学部品。

IPC (6)：

G02B 1/11 ,  C01G 23/04 ,  C03C 17/245 ,  C03C 17/34 ,  C30B 33/00 ,  G02B 1/10

FI (6)：

G02B 1/10 A ,  C01G 23/04 C ,  C03C 17/245 A ,  C03C 17/34 Z ,  C30B 33/00 ,  G02B 1/10 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 反射防止膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-052904   Applicant：秩父セメント株式会社
• 特開平3-135502
  
• 特開平1-286229
  
• 特開昭57-124301
  
• 特開昭59-136706