Pat
J-GLOBAL ID:200903009835738640
光学素子の製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
渡邉 昌幸
, 磯村 雅俊
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004165387
Publication number (International publication number):2005345762
Application date: Jun. 03, 2004
Publication date: Dec. 15, 2005
Summary:
【課題】 従来の光学素子の性能を凌駕し、小型化、高性能化が容易に実現でき、高価な製造装置を必要とせず、省エネルギープロセスで実現できる技術を提供すること。【解決手段】 微粒子の自己組織化現象を利用して基板101上に第一の物質からなる第一の微粒子102を所望のパターン形状に配列する工程と、第一の微粒子101が配列した領域以外の領域に、第一の物質とは異なる第二の物質からなり第一の微粒子とほぼ同じ径を有する第二の微粒子103を配列する工程からなる。また、第一の微粒子および第二の微粒子によって形成された空隙に、第一および第二の物質のいずれとも異なる第三の物質からなる材料を充填する工程、第一または第二の微粒子のいずれか一方を選択的に除去する工程、除去によって形成された空隙に第三の物質からなる材料を充填する工程を含むようにしてもよい。【選択図】 図1-C
Claim (excerpt):
微粒子の自己組織化現象を利用して、基板上に第一の物質からなる第一の微粒子を所望のパターン形状に配列する工程と、前記第一の微粒子が配列した領域以外の領域に、前記第一の物質とは異なる第二の物質からなり前記第一の微粒子とほぼ同じ径を有する第二の微粒子を配列する工程とを含むことを特徴とする光学素子の製造方法。
IPC (2):
FI (3):
G02B6/12 M
, G02B6/12 Z
, G02B6/12 N
F-Term (6):
2H047KA03
, 2H047LA12
, 2H047PA21
, 2H047QA01
, 2H047QA05
, 2H047RA08
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (18)
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フォトニック構造を有する周期構造体の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-120192
Applicant:キヤノン株式会社
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Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-250334
Applicant:ジェイエスアール株式会社
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光導波路素子、三次元光導波路回路および光学システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-165421
Applicant:名古屋大学長
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周期性構造物の製造方法およびその方法で製造される周期性構造物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-342461
Applicant:株式会社リコー
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微粒子構造体の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-276736
Applicant:株式会社リコー
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微粒子配列膜形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-384767
Applicant:株式会社リコー
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微粒子構造体の作成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-099228
Applicant:株式会社リコー
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Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-395738
Applicant:株式会社リコー
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周期性構造物を用いた光学素子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-161964
Applicant:株式会社リコー
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フォトニック結晶及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-151248
Applicant:河本邦仁, 大研化学工業株式会社
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Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-364110
Applicant:株式会社リコー
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Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-357548
Applicant:株式会社リコー
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Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-339562
Applicant:株式会社リコー
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Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-318158
Applicant:財団法人川村理化学研究所
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Gazette classification:公表公報
Application number:特願2003-564630
Applicant:シュトゥディエンゲゼルシャフト・コーレ・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
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Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-148094
Applicant:財団法人名古屋産業科学研究所
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Application number:特願2002-332539
Applicant:三菱瓦斯化学株式会社
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コロイド結晶体及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-268141
Applicant:財団法人川村理化学研究所
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Article cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (1)
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