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J-GLOBAL ID：200903009854929146

金属酸化物薄膜の製造方法

Inventor： 安藤 昌儀 ,  小林 哲彦
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Agent (1)： 工業技術院大阪工業技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998082564
Publication number (International publication number)：1999256342
Application date： Mar. 13, 1998
Publication date： Sep. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】比較的簡便な方法で均一な金属酸化物薄膜を形成することを主な目的とする。【解決手段】有機酸金属塩及び有機金属錯体の少なくとも1種を含む溶液を基板上に塗布した後に、得られた塗膜を加熱処理するに先立って紫外線照射を行うことを特徴とする金属酸化物薄膜の製造方法。

Claim (excerpt)：

有機酸金属塩及び有機金属錯体の少なくとも1種を含む溶液を基板上に塗布した後に、得られた塗膜を加熱処理するに先立って紫外線照射を行うことを特徴とする金属酸化物薄膜の製造方法。

IPC (3)：

C23C 18/14 ,  C01B 13/32 ,  C23C 18/12

FI (3)：

C23C 18/14 ,  C01B 13/32 ,  C23C 18/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 酸化物の成膜方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-021850   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• 特開平1-197303