塗布方法、および樹脂層形成法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩橋文雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001399934
Publication number (International publication number)：2003203401
Application date： Dec. 28, 2001
Publication date： Jul. 18, 2003
Summary：

【要約】【課題】スピンコート法による塗布厚みを均一にする。厚みの均一な樹脂層を形成する。【解決手段】塗布厚みの不均一となる部分を、所望塗布面外のガイド部分103,104に、形成させることにより、所望塗布面内の塗布厚みを均一にする。上記塗布方法を用いて厚みの均一な樹脂層を形成する。

Claim (excerpt)：

平板の第一主面に液体材料をスピンコートする際に、塗布される前記平板の外周端面に略接し、かつ、前記第一主面に対して略同一高さとなる上面をもつガイドを設けることを特徴とする塗布方法。

IPC (6)：

G11B 7/26 531 , B05C 11/08 , B05D 1/40 , B05D 7/24 301 , G03F 7/16 502 , H01L 21/027

FI (6)：

G11B 7/26 531 , B05C 11/08 , B05D 1/40 A , B05D 7/24 301 T , G03F 7/16 502 , H01L 21/30 564 D

F-Term (33)：

2H025AA18 , 2H025AB14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025EA05 , 4D075AC64 , 4D075AC73 , 4D075AC86 , 4D075AC92 , 4D075BB20Z , 4D075BB42Z , 4D075BB46Z , 4D075BB92Z , 4D075CA48 , 4D075DA08 , 4D075DC27 , 4D075EA21 , 4F042AA02 , 4F042AA10 , 4F042CC07 , 4F042CC12 , 4F042DB41 , 4F042EB17 , 4F042EB29 , 5D121AA04 , 5D121EE22 , 5D121EE23 , 5D121EE24 , 5D121GG02 , 5D121GG28 , 5F046JA04 , 5F046JA10 , 5F046JA13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

光記録媒体の製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-361070 Applicant：ソニー株式会社
可動板を有するスピンコーター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-072018 Applicant：株式会社芝浦製作所
光学的情報記録媒体の製造方法および製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-295651 Applicant：松下電器産業株式会社

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