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J-GLOBAL ID：200903009942663466

振動式トランスデューサとその製造方法

Inventor：
吉田 隆司

About 吉田 隆司

, 
宮崎 俊一

About 宮崎 俊一


Applicant, Patent owner：
横河電機株式会社

About 横河電機株式会社


Agent (1)： 渡辺 正康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996268178
Publication number (International publication number)：1998111195
Application date： Oct. 09, 1996
Publication date： Apr. 28, 1998
Summary：
【要約】【課題】 ポリシリコンよりなる振動梁に初期張力を付与し、振動梁に圧縮が加わった場合にも座屈を確実に防止し得る振動式トランスデューサとその製造方法を提供するにある。【解決手段】 両端が基板に固定された振動梁の共振周波数を測定する事により該振動梁の両端に加えられた歪を測定する振動式トランスデューサにおいて、リンの高濃度ドープにより所定の初期張力が得られるようにリンガラスが成膜された後加熱された窒素中でドライブインされた後前記リンガラスが除去されてなるポリシリコンよりなる振動梁を具備したことを特徴とする振動式トランスデューサである。
Claim (excerpt)：
両端が基板に固定された振動梁の共振周波数を測定する事により該振動梁の両端に加えられた歪を測定する振動式トランスデューサにおいて、リンの高濃度ドープにより所定の初期張力が得られるようにリンガラスが成膜された後加熱された窒素中でドライブインされた後前記リンガラスが除去されてランプアニーリングによる高速アニーリングがされてなるポリシリコンよりなる振動梁を具備したことを特徴とする振動式トランスデューサ。
IPC (5)：
G01L 9/00 ,  G01H 11/00 ,  G01L 1/10 ,  H01L 29/84 ,  H01L 21/225
FI (5)：
G01L 9/00 C ,  G01H 11/00 ,  G01L 1/10 A ,  H01L 29/84 Z ,  H01L 21/225 Q
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (2)

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