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J-GLOBAL ID：200903010202772685

露光装置

Inventor： 小山内 英司
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994068960
Publication number (International publication number)：1995254555
Application date： Mar. 15, 1994
Publication date： Oct. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】 簡単な構成により、振動の伝達を防止し、高速、高精度な位置決めが行なえるようにする。【構成】 露光用光学系3と、被露光体を搭載するステージ5と、該ステージを前記露光用光学系に対し移動させるための移動手段6と、該移動手段を支持する第1の基台8と、前記露光用光学系を支持し第1の基台を搭載する定盤9と、前記第1の基台および定盤間に介装した第1の支持手段10と、前記定盤を支持する第2の基台12と、前記定盤および第2の基台間に介装した振動除去手段11と、前記第1の基台および前記第2の基台間に介装した第2の支持手段13とを具備する。

Claim (excerpt)：

露光用光学系と、被露光体を搭載するステージと、該ステージを前記露光用光学系に対し移動させるための移動手段と、該移動手段を支持する第1の基台と、前記露光用光学系を支持し第1の基台を搭載する定盤と、前記第1の基台および定盤間に介装した第1の支持手段と、前記定盤を支持する第2の基台と、前記定盤および第2の基台間に介装した振動除去手段と、前記第1の基台および前記第2の基台間に介装した第2の支持手段とを具備したことを特徴とする露光装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/54 ,  G03F 9/00

FI (2)：

H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 503 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-201913
  
• 特開平4-025334
  
• 複合位置決め装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-070070   Applicant：キヤノン株式会社