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J-GLOBAL ID：200903010257313213

走査プローブ顕微鏡用探針の作製方法及びそのための装置

Inventor： 武笠 幸一 ,  有田 正志
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998251486
Publication number (International publication number)：2000081381
Application date： Sep. 04, 1998
Publication date： Mar. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】 ナノメートルサイズの先端突起を有する探針を真空下で簡便に作り出すことができる走査プローブ顕微鏡用探針の作製方法及びそのための装置を提供する。【解決手段】 走査プローブ顕微鏡用探針の材料に、この探針材料よりイオンスパッタ速度が遅いダイアモンド粉末3を付着させ、このダイアモンド粉末3が付着した状態で、このダイアモンド粉末3が無くなるまで、或いはそれ以上に、前記探針材料をイオンスパッタすることにより、針状突起6を形成する。

Claim (excerpt)：

走査プローブ顕微鏡用探針の材料に、該探針材料よりイオンスパッタ速度が遅い微粒子を付着させ、該微粒子が付着した状態で、該微粒子が無くなるまで、或いはそれ以上に、前記探針材料をイオンスパッタすることにより針状突起を形成することを特徴とする走査プローブ顕微鏡用探針の作製方法。

IPC (2)：

G01N 13/12 ,  G01N 13/16

FI (2)：

G01N 37/00 C ,  G01N 37/00 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 無機物極薄片及びその作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-015774   Applicant：財団法人国際超電導産業技術研究センター