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J-GLOBAL ID：200903013733655267

無機物極薄片及びその作製方法

Inventor： 文 建国 ,  腰塚 直己
Applicant, Patent owner： 財団法人国際超電導産業技術研究センター
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995015774
Publication number (International publication number)：1996209340
Application date： Feb. 02, 1995
Publication date： Aug. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 第1の無機物からなる厚さ100Å〜200Åの極薄片の一端部に前記第1の無機物よりも硬質の第2の無機物が付着され、その反対側端部が基板上に支持されている無機物極薄片を得る。薄膜断面の原子像をTEMで観察するための試料作製時間を短縮する。【構成】 無機物からなる厚さ100Å〜200Åの極薄片1の一端部に前記第1の無機物よりも硬質の第2の無機物2が付着され、その反対側端部が基板3上に支持されている無機物極薄片である。また、前記極薄片1が基板3上に複数個立設されているものである。また、基板上に所定の厚さの第1の無機物薄膜を形成し、該第1の無機物薄膜の一端辺部に前記第1の無機物よりも硬質の第2の無機物粉末もしくは線状無機物を付着し、該硬質の第2の無機物薄膜の前面に垂直にイオンビーム照射し、その後に当該第1の無機物薄膜の裏面側からイオンビームを10〜20度の範囲の角度に傾斜させて照射する無機物極薄片作製方法である。

Claim (excerpt)：

第1の無機物からなる厚さ100Å〜200Åの極薄片の一端部に前記第1の無機物よりも硬質の第2の無機物が付着され、その反対側端部が基板上に支持されていることを特徴とする無機物極薄片。

IPC (2)：

C23C 14/32 ,  C23C 14/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 透過電子顕微鏡用の試料作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-168540   Applicant：日本電気株式会社