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J-GLOBAL ID：200903010267086932

従順なウェハプローバ結合アダプタ

Inventor：
ジュリアス・ケー・ボトカ

About ジュリアス・ケー・ボトカ

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デビッド・アール・ベテラン

About デビッド・アール・ベテラン


Applicant, Patent owner：
ヒューレット・パッカード・カンパニー

About ヒューレット・パッカード・カンパニー


Agent (1)： 上野 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998022456
Publication number (International publication number)：1998223708
Application date： Feb. 04, 1998
Publication date： Aug. 21, 1998
Summary：
【要約】【課題】電子試験装置をウェハプローバに正確に且つ迅速に整列させるのに使用する従順なウェハプローバ結合アダプタを提供する。【解決手段】従順なアダプタは、試験ヘッドの重量の一部を支持するコイルばねの形を成す従順なばね機構を備えており、アダプタの上部はそれ自身を試験ヘッドと自動的に整列させている。この望ましい局面は、すべてのコネクタを正しく据えることができるので、ロック係合は、ウェハプローバおよび試験ヘッドの表面が完全に平面状でなくても、二つの表面の間に従順で確実な組合せを与える。
Claim (excerpt)：
プローブ先端を有するプローバカードをウェハプローバ卓上のウェハカードに結合する結合システムにおいて、取付具盤、プルダウンリング、およびスパイダを備えた取付具盤装置、試験ヘッドの前記取付具盤装置への初めの取り付けを容易にする、第1の端、および前記スパイダに固定され、より広い、第2の端を有する結合円錐、前記試験ヘッドを前記取付具盤装置にロックするためのカムロック機構、前記ウェハプローバ卓に締め付けられ、前記プローブ先端を有する前記プローバカードを支持している回転可能リングを備え、該回転可能リングは、前記プローブ先端が前記ウェハカードと回転可能に整列するとき、係合してロックされるものである回転可能なロック組立体、および前記取付具盤装置と前記ロック組立体との間に接続されて、前記ロックされた試験ヘッドおよび前記取付具盤装置を前記プローバカードを支持する前記ロックされた回転可能リングに従順に適合させるための従順なばね機構、を備えていることを特徴とするウェハプローバ結合アダプタ。
IPC (3)：
H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28
FI (3)：
H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/28 K
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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