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J-GLOBAL ID：200903010291488880

光圧アクチュエータ及びその製造方法

Inventor： 浮田 宏生 ,  日暮 栄治 ,  田中 秀尚 ,  大口 脩
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993005310
Publication number (International publication number)：1994213139
Application date： Jan. 14, 1993
Publication date： Aug. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】この発明にあっては、静電力による回転機構の非遠隔照射、摩耗の課題と共に、光圧回転の低回転速度、回転に適した微小物体の形状とその製造方法等の不明点を除去するため、光の圧力を駆動源として非接触駆動が可能なことを特徴とする。【構成】光圧アクチュエータ14は、所定の厚さを有して環状に形成された移動体15を有している。この移動体15は、その表面の一部に、該移動体の回転方向に対して光圧発生面16及び切断面17を形成している。移動体支持部19は、上記移動体15の外周側に間隙18をおいて、移動体15を所定方向に回転自在に設けられている。

Claim (excerpt)：

少なくとも1つの光圧発生用の斜面がその表面に形成された移動体と、この移動体と所定間隔をおいて配置され、上記移動体を所定方向に移動自在に支持する移動体支持部とを具備し、上記移動体は遠隔照射されるべくレーザ光の圧力により上記所定方向に駆動されることを特徴とする光圧アクチュエータ。

IPC (2)：

F03H 3/00 ,  F03G 7/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-322183
  
• マイクロモータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-324732   Applicant：三洋電機株式会社
• 光マイクロモータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-229052   Applicant：株式会社ニコン
• 光マイクロモータ及びその回転方向制御方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-243036   Applicant：株式会社ニコン