Pat
J-GLOBAL ID：200903010335770103
チップのパターン検査装置および方法
Inventor：
,
,
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997294215
Publication number (International publication number)：1999135583
Application date： Oct. 27, 1997
Publication date： May. 21, 1999
Summary：
【要約】【課題】複数の性質を持つ領域が存在するチップのパターン方法において、明るさが領域により異なる場合や、繰り返し性が複数ある場合においても、チップ全面で良好な検出感度を得られるようにする。【解決手段】チップ内を複数の領域に論理的に分割して、その分割された複数の領域に応じて、信号の階調変換、比較の際のデータ遅延量、欠陥判定パラメータを変化させてパターン比較をおこない欠陥を見出す。
Claim (excerpt)：
基板上に同一のチップとなるように複数個配置して形成されたチップを検査するためのチップのパターン欠陥検査装置において、被検査パターンの検出画像信号を検出する手段と、ある検査パターンの検出画像信号を、そのチップ内、または、これを基板上の隣接あるいは離れた被検査パターンの検出画像信号と比較する手段とを有し、そのチップを複数の領域に論理的に分割して、その分割された複数の領域に応じて、検出画像信号に対して変換をおこない、それら変換の結果を用いて前記パターンを検査することを特徴とするチップのパターン検査装置。
FI (2)：
H01L 21/66 J
, H01L 21/66 Z
Cited by examiner (9)
Show all
Return to Previous Page
