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J-GLOBAL ID：200903010458114650

実質的に相互に垂直な2つの軸においてビームを走査するために光学装置

Inventor： エンゲルハルト、ヨハン ,  ウルリッヒ、ハインリッヒ
Applicant, Patent owner： ライカ ミクロジュステムス ハイデルベルク ゲーエムベーハー
Agent (1)： 加藤 朝道 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998528243
Publication number (International publication number)：2001506378
Application date： Dec. 23, 1997
Publication date： May. 15, 2001
Summary：

【要約】実質的に相互に垂直な2つの軸においてビームを走査する光学装置であって、とりわけ共焦点レーザ走査顕微鏡で使用されるものにおいて、重大な結像誤差を回避するために、3つのミラー(1,2,3)が設けられており、当該ミラーのうち2つのミラー(1,2)は、第1の駆動部によって第1の軸(y軸)を中心に、1つのミラー(3)は第2の駆動部によって第2の軸(x軸)を中心に回転可能であり、前記第2の軸(x軸)は第1の軸(y軸)に対して直交しており、前記2つのミラー(1,2)は相互に所定の角度位置関係の下で回動不能に配属されており、これらミラーは共通にy軸を中心に回転し、その際にビーム(4)を、単独で回転する第3のミラー(3)の回転軸(x軸)上にある回転点を中心に回転させる。

Claim (excerpt)：

実質的に相互に垂直な2つの軸においてビームを走査する光学装置であって、とりわけ共焦点レーザ走査顕微鏡で使用されるものにおいて、 3つのミラー(1,2,3)が設けられており、 当該ミラーのうち2つのミラー(1,2)は、第1の駆動部によって第1の軸(y軸)を中心に、1つのミラー(3)は第2の駆動部によって第1の軸(y軸)に対して直交する第2の軸(x軸)を中心に回転可能であり、 前記2つのミラー(1,2)は相互に所定の角度位置の下で回動不能に配属されており、これらミラーは共通にy軸を中心に回転し、その際にビーム(4)を、単独で回転する第3のミラー(3)の回転軸(x軸)上にある回転点を中心に回転させる、ことを特徴とする光学装置。

IPC (2)：

G02B 26/10 ,  G02B 21/00

FI (2)：

G02B 26/10 C ,  G02B 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• レーザ加工装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-240244   Applicant：川崎重工業株式会社
• 特開昭62-265613
  
• 特開昭60-188921