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J-GLOBAL ID：200903010509764868

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、及び圧電体素子の製造方法

Inventor：
村井 正己

About 村井 正己


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000083970
Publication number (International publication number)：2001274472
Application date： Mar. 24, 2000
Publication date： Oct. 05, 2001
Summary：
【要約】【課題】 安定した高い圧電特性を備えた圧電体素子およびこれを用いたインクジェト式記録ヘッド、プリンタを提供する。【解決手段】 ZrO2膜32上に、下部電極42(Irを含む第三層423、Ptを含む第二層424、Irを含む第一層425)、4nm以上6nm以下のTi層、圧電体薄膜43、および上部電極44、を順次積層してなり、X線回折広角法により測定した圧電体膜43の100面配向度が40%以上70%以下、110面配向度が10%以下、111面配向度が残部である。この場合、下部電極第二層424の厚さが下部電極42全体の厚さに対して30%以上50%以下である。
Claim (excerpt)：
ZrO2膜上に形成された下部電極と、該下部電極上に形成された圧電体膜と、該圧電体膜上に形成された上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記圧電体膜は、X線回折広角法により測定した100面配向度が40%以上70%以下であることを特徴とする圧電体素子。
IPC (7)：
H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  C23C 14/14
FI (7)：
C23C 14/14 D ,  H01L 41/08 L ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 Z ,  H01L 41/22 Z
F-Term (18)：
2C057AF51 ,  2C057AF93 ,  2C057AG47 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4K029BA01 ,  4K029BC00 ,  4K029BD03 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029GA01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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