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J-GLOBAL ID：200903020878600882

機能性薄膜、圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、圧電体素子の製造方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法、

Inventor： 角 浩二
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999163867
Publication number (International publication number)：2000079689
Application date： Jun. 10, 1999
Publication date： Mar. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】 製造工数が少なく信頼性を向上できる圧電体素子の提供。【解決手段】 1層以上の圧電体薄膜層(43)と、2層以上の電極層(42,44)と、を備える圧電体素子(40)である。隣接する層間には、それぞれの層の成分が混合した混合層(512,523,534)が形成されている。

Claim (excerpt)：

異なる成分で形成された薄膜層の間に、それぞれの薄膜層の成分が混合した混合層を備えていることを特徴とする機能性薄膜。

IPC (6)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (5)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭57-093160
  
• インクジェットプリントヘッド及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-322657   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• インクジェットヘッドおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-056336   Applicant：セイコーエプソン株式会社