光スポット歪測定調整装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小鍜治明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993050466
Publication number (International publication number)：1994267080
Application date： Mar. 11, 1993
Publication date： Sep. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】光スポットの1次回折光の分布から微小の非点/球面収差を判別、調整できる簡単で正確な光スポット歪測定調整装置を実現する。【構成】光ヘッドを出射する光ビームスポットをCCD上に結像して、焦点前後の1次回折光の強度分布を4象現に分けて計算して、非点収差及び球面収差の検出を行う。

Claim (excerpt)：

放射光源と、放射光源を出射する光ビームを受け収束させる光ビーム収束手段と、前記光ビーム収束手段により形成される光スポットの光強度最大となる点を原点とする光軸の+及び-方向に各々所定値離れた点での1次回折光の分布を測定する手段と、測定値を演算する手段からなる光スポット歪測定調整装置。

IPC (2)：

G11B 7/08 , G11B 7/22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平1-251326
特開平1-150231
特開昭61-009841

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