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J-GLOBAL ID：200903010676767771

圧電体振動ジャイロセンサ

Inventor： 富川 義朗 ,  田中 良明
Applicant, Patent owner： 東洋通信機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003308162
Publication number (International publication number)：2005077249
Application date： Sep. 01, 2003
Publication date： Mar. 24, 2005
Summary：

【課題】音叉型圧電体振動ジャイロセンサにおいて回転軸に直交する面に屈曲振動励振用の励振電極と、回転によるコリオリ力を利用して回転各速度を検出するための検出電極を形成すると、励振電極及び検出電極の配置に制約が生じ、十分な検出感度が得られない。【解決手段】振動アーム2a、2bの長軸方向の上半分の両主面に対向して平行に長方形の励振用電極3a、3b、4a、4bを設け、一方の主面の下半分の振動アーム2a、2bの基底部寄りの前記励振用電極3a、3bの間にそれぞれ弾性表面波素子用のIDT電極で構成された検出用IDT電極5a、5bを設けた双音叉型振動ジャイロセンサ1とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

振動励振電極と検出電極とをそれぞれ備えた2つの角柱状振動アーム部と該アーム部の両端をそれぞれ支持する2つの基底部とが一体となった形状の双音叉型の圧電体振動ジャイロセンサであって、 前記2つの角柱状振動アーム部それぞれの一方の半分を前記振動励振電極の形成部、他方の半分を検出電極の形成部としたことことを特徴とするジャイロセンサ。

IPC (6)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H03H9/145 ,  H03H9/25

FI (6)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H03H9/145 Z ,  H03H9/25 Z ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/08 J

F-Term (11)：

2F105AA05 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105CC01 ,  2F105CC11 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13 ,  5J097AA23 ,  5J097DD01 ,  5J097LL01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 振動ジャイロ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-209871   Applicant：株式会社村田製作所