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J-GLOBAL ID：200903010738100906

カソードルミネッセンス用試料ホルダ、及びカソードルミネッセンス分光分析装置

Inventor： 田邊 哲朗 ,  武藤 俊介 ,  長村 俊彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ユニソク
Agent (1)： 渡辺 三彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001334389
Publication number (International publication number)：2003139703
Application date： Oct. 31, 2001
Publication date： May. 14, 2003
Summary：

【要約】【課題】 既設の透過型電子顕微鏡(TEM)を用いてカソードルミネッセンス分析を容易に行うことを可能とするカソードルミネッセンス用試料ホルダ、及び該カソードルミネッセンス用試料ホルダを用いた分光分析装置を提供する。【解決手段】 本カソードルミネッセンス分光分析装置100は、真空チャンバ10内において試料Sに電子線EBを照射して透過電子線TBを観察する透過型電子顕微鏡101と、透過型電子顕微鏡101に取付可能なカソードルミネッセンス用試料ホルダ102と、カソードルミネッセンス用試料ホルダ102により導かれた光CLを分光して測定する分光測定器103と、分光測定器103の測定値に基づいて測定結果を表示するコンピュータ104と、を具備してなるものである。

Claim (excerpt)：

透過型電子顕微鏡に取付可能なカソードルミネッセンス用試料ホルダであって、透過型電子顕微鏡の真空チャンバに挿入可能な中空状のホルダ本体と、ホルダ本体の先端近傍に設けられ、真空チャンバ内において電子線が照射される試料を固定するための試料固定部と、試料固定部近傍に光取込口が位置するようにして、ホルダ本体内の試料固定部近傍から基端側へ延設された光ファイバと、試料固定部と対向位置に配置され、試料から発生した光を光ファイバの光取込口に向かって反射するとともに、所定位置に穿たれた孔により電子線を通過させる反射板と、を具備するものであることを特徴とするカソードルミネッセンス用試料ホルダ。

IPC (3)：

G01N 21/62 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/252

FI (3)：

G01N 21/62 A ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/252 Z

F-Term (29)：

2G043AA03 ,  2G043BA03 ,  2G043BA09 ,  2G043CA05 ,  2G043DA06 ,  2G043EA11 ,  2G043FA02 ,  2G043GA04 ,  2G043GB01 ,  2G043GB03 ,  2G043GB05 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA03 ,  2G043HA05 ,  2G043JA01 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA03 ,  2G043NA01 ,  2G043NA06 ,  5C001AA01 ,  5C001AA08 ,  5C001CC03 ,  5C001CC04 ,  5C001CC08 ,  5C033RR03 ,  5C033RR04 ,  5C033RR09