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J-GLOBAL ID：200903010942849428
レーザ装置、その運転方法およびその応用
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
越場 隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993115427
Publication number (International publication number)：1994302897
Application date： Apr. 19, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：
【要約】【構成】 エキシマレーザ1、エキシマレーザ1の光路上に配置されたアッテネータ2、アッテネータ2を通過したレーザ光の一部が透過し、残部が反射するハーフミラー7、ハーフミラー7を透過したレーザ光の強度を測定するセンサ3、およびセンサ3の測定したレーザ光の強度を基にアッテネータ2を制御するマイクロコンピュータ4とを具備する。エキシマレーザ1で発生されたレーザ光は、アッテネータ2で減衰されてハーフミラー7で反射されるとともに一部が透過してセンサ3に入射する。ハーフミラー7で反射されたレーザ光は、被照射物に照射される。センサ3は、ハーフミラー7を透過したレーザ光の強度を検出する。センサ3の検出したレーザ光の強度が変化すると、マイクロコンピュータ4は、その変化を打ち消す方向にアッテネータの減衰率を制御する制御信号を出力する。【効果】 長時間連続運転してもレーザ光の強度、ビーム形状が変化しない。
Claim (excerpt)：
レーザ光発振装置と、該レーザ光発振装置で発振されたレーザ光の光路上に配置され、レーザ光の強度を任意に減衰可能なアッテネータと、を具備し、前記アッテネータから出力されるレーザ光の強度が所定の値になるよう構成されていることを特徴とするレーザ装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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