Pat
J-GLOBAL ID:200903011079897458
距離調整用非接触支持台
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
▲吉▼川 俊雄
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2007507928
Publication number (International publication number):2007533153
Application date: Apr. 13, 2005
Publication date: Nov. 15, 2007
Summary:
流体クッション上の静止又は移動する実質的に平坦な対象物を物理的接触なしに支えるための装置。対象物は流体クッションギャップ上で浮動し、装置はこのギャップを全域か局所で調整することを目的とする。装置は非接触で対象物を支える第一土台を含み、この土台が一個以上の区域からなる実質的に平坦な活性表面を有し、各区域が複数基本セルの内の少なくとも一つを含み、各基本セルが圧力調整流量絞り弁により基本セルの位置する区域に関する高圧マニフォールドと流体的に連結した複数圧力出口の内の少なくとも一つを有し、高圧マニフォールドが主供給パイプラインにより加圧流体供給と主排気パイプラインを有する基本セルが位置する区域に関する低圧マニフォールドと流体的に連結した複数流体排気チャネルの少なくとも一つと流体的に連結するものからなる装置で、流量絞り弁が流体的伸縮バネ挙動を特徴的に示し、少なくとも一個の圧力調整弁を区域の二個のマニフォールドの内の少なくとも一つの圧力レベルを制御するため、少なくとも一区域の二個の主パイプラインの内の少なくとも一つの間に配置することからなる装置。【選択図】図1
Claim (excerpt):
流体クッション上の実質的に平坦な静止か移動対象物を物理的接触なしに支える装置で、この対象物は流体クッションギャップで浮動し、この装置はギャップを全域か局所で調整すること目的にし、この装置が
非接触で対象物を支える第一土台からなり、この土台が一個以上の区域からなる実質的に平坦な活性表面を有し、各区域が複数基本セルの内少なくとも一つを含み、各基本セルが圧力調整流量絞り弁により基本セルの位置する区域に関する高圧マニフォールドと流体的に連結した複数圧力出口の内少なくとも一つを有し、高圧マニフォールドが主供給パイプラインにより加圧流体供給と主排気パイプラインを有する基本セルが位置する区域に関する低圧マニフォールドと流体的に連結した複数流体排気チャネルの内の少なくとも一つと流体的に連結する装置で、
流量絞り弁が流体的伸縮バネ挙動を特徴的に示し、少なくとも一個の圧力調整弁を区域の二個のマニフォールドの内の少なくとも一つの圧力レベルを制御するため、少なくとも一区域の二個の主パイプラインの内の少なくとも一つの間に配置することからなる装置。
IPC (3):
H01L 21/68
, F16C 32/06
, H01L 21/683
FI (5):
H01L21/68 K
, F16C32/06 A
, F16C32/06 C
, H01L21/68 G
, H01L21/68 P
F-Term (22):
3J102AA02
, 3J102BA14
, 3J102CA10
, 3J102CA11
, 3J102EA02
, 3J102EA06
, 3J102EA15
, 3J102EB02
, 3J102EB03
, 3J102EB07
, 5F031CA02
, 5F031HA13
, 5F031HA53
, 5F031JA02
, 5F031JA09
, 5F031JA10
, 5F031JA27
, 5F031JA32
, 5F031JA47
, 5F031KA06
, 5F031KA08
, 5F031MA27
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
-
圧力安定化装置及びこの装置を備えた基板の電気特性測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-259255
Applicant:大日本スクリーン製造株式会社
-
特開昭57-121524
-
液圧パワーパッケージ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-165721
Applicant:カヤバ工業株式会社
Cited by examiner (3)
-
圧力安定化装置及びこの装置を備えた基板の電気特性測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-259255
Applicant:大日本スクリーン製造株式会社
-
特開昭57-121524
-
液圧パワーパッケージ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-165721
Applicant:カヤバ工業株式会社
Return to Previous Page