産業用機器の遠隔保守システム及びこれを利用した生産方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：丸島儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996251623
Publication number (International publication number)：1998097966
Application date： Sep. 24, 1996
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】遠隔地の機器であっても地域を問わず迅速且つ確実な保守を可能とする産業用機器の遠隔保守システムを提供すること。【解決手段】それぞれが半導体製造装置などの産業用機器を備えた複数の工場と、ホスト管理システムとを通信手段で接続して、該通信手段を介して各工場の産業用機器をベンダーの管理システムで遠隔管理することを特徴とする産業用機器の遠隔保守システムであって、通信手段はインターネットを利用したものである。

Claim (excerpt)：

インターネットを利用して遠隔地の産業用機器の保守情報を通信することを特徴とする産業用機器の遠隔保守システム。

IPC (5)：

H01L 21/02 , H04L 12/46 , H04L 12/28 , H04Q 9/00 311 , H04Q 9/00 321

FI (4)：

H01L 21/02 Z , H04Q 9/00 311 Z , H04Q 9/00 321 Z , H04L 11/00 310 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

保守システム及び遠隔保守方式及び遠隔保守システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-269928 Applicant：三菱電機東部コンピュータシステム株式会社, 三菱電機株式会社
特開平4-028238
特開平2-277396

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