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J-GLOBAL ID：200903011141724972

迂曲面の光波干渉測定方法および迂曲面測定用の干渉計装置

Inventor：
植木 伸明

About 植木 伸明


Applicant, Patent owner：
フジノン株式会社

About フジノン株式会社


Agent (1)： 川野 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003381718
Publication number (International publication number)：2005147715
Application date： Nov. 11, 2003
Publication date： Jun. 09, 2005
Summary：
【課題】起点干渉縞の画像から起点領域の形状と隣接領域の傾斜角度を求め、この傾斜角度分の被検面の傾き調整を行なって隣接領域に対応した隣接干渉縞を順次得ることによって、被検面の測定領域全域の形状測定を容易かつ安定して実施できるようにする。【解決手段】基準面21aに対する被検面27aの傾き姿勢を調整して最初の起点干渉縞を発生させた後に、起点干渉縞に基づき起点領域の形状を求める起点干渉縞解析手順と、起点領域の形状に基づき隣接領域の傾斜角度を算定する傾斜角度算定手順と、隣接領域の傾斜角度が略0度となるように被検面27aの傾き姿勢を調整して隣接干渉縞を発生させる隣接干渉縞発生手順とを、隣接領域を次の起点領域に置き換える度に繰り返し実施して被検面の領域別形状を順次求める。そして、開口合成法により各領域別形状を繋ぎ合わせて被検面27aの測定領域内における略全域の形状を求める。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基準面および被検面に測定光を照射して基準面から反射された参照光と被検面から反射された被検面光との干渉により生じる干渉縞の画像を得る干渉光学系と、前記基準面に対する前記被検面の傾き姿勢を調整するアライメント機構とを備えた干渉計装置を用いて、迂曲した前記被検面の略全域の形状を求める迂曲面の光波干渉測定方法において、 前記基準面に対する前記被検面の傾き姿勢を調整して、該被検面の全域測定の起点となる起点領域に対応した最初の起点干渉縞を発生させる起点干渉縞発生手順を実施した後に、 前記起点干渉縞に基づき前記起点領域の形状を求める起点干渉縞解析手順と、 前記起点領域の形状に基づき、該起点領域の周縁部を一部含む隣接領域の前記基準面に対する傾斜角度を算定する傾斜角度算定手順と、 前記隣接領域の前記基準面に対する前記傾斜角度が略0度となるように前記基準面に対する前記被検面の傾き姿勢を調整して、前記隣接領域に対応した隣接干渉縞を発生させる隣接干渉縞発生手順とを、 前記隣接領域を次の起点領域に前記隣接干渉縞を次の起点干渉縞に置き換えながら、置き換える度に繰り返し実施して前記被検面の領域別形状を順次求めるとともに、開口合成法によりこれら各領域別形状を繋ぎ合わせて前記被検面の測定領域内における略全域の形状を求めることを特徴とする迂曲面の光波干渉測定方法。
IPC (2)：
G01B11/24 ,  G01B9/02
FI (2)：
G01B11/24 D ,  G01B9/02
F-Term (22)：
2F064AA09 ,  2F064EE05 ,  2F064FF01 ,  2F064GG20 ,  2F064GG22 ,  2F064HH03 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF53 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS13 ,  2F065UU03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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