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J-GLOBAL ID：200903011143385806

磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡

Inventor： ディーター クラール ,  シュテファン クヤヴァ
Applicant, Patent owner： エルエーオー エレクトローネンミクロスコーピー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999182405
Publication number (International publication number)：2000030645
Application date： Jun. 28, 1999
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 エネルギフィルタリングされた対象物像又は回析像を検出器平面内に結像するのに適しているのみならず、エネルギスペクトルのパラレルレジストレーション位置合せのため検出器平面内へ分散平面を結像するのにも適する磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】 磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡において、前記エネルギフィルタは、1つの中心平面(M)に対して対称的に配置された方向変換系(11-14)を有し、方向変換系と、ビーム方向でエネルギフィルタに後続する投影系との間に設けられたヘクサポール(Hexapol) を有すること。

Claim (excerpt)：

磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡において、前記エネルギフィルタは、1つの中心平面(M)に対して対称的に配置された方向変換系(11-14)を有し、方向変換系(11-14)と、ビーム方向でエネルギフィルタに後続する投影系(17,18)との間に設けられたヘクサポール(Hexapol)(S2〜S6)を有し、前記投影系により選択的にフィルタの分散平面(DA)又はアクロマチック像平面(BA)が検出器平面(19)内に結像可能でありここで、分散平面(DA)の結像とアクロマチック像平面(BA)の結像との切換えの場合ヘクサポール(Hexapol)(S2,S4,S6)の励磁の切換が行われるように構成されていることを特徴とする磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/05 ,  H01J 49/46

FI (2)：

H01J 37/05 ,  H01J 49/46

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 結像用の電子エネルギーフィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-057386   Applicant：カール-ツアイス-スチフツング
• 粒子光学機械
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-108299   Applicant：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ