ポジ型感光性組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002003900
Publication number (International publication number)：2003207886
Application date： Jan. 10, 2002
Publication date： Jul. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】ラインエッジラフネスが改善され、プロファイルが優れたポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】(A1)活性光線又は放射線の照射により、少なくとも1つのフッ素原子及び/又は少なくとも1つのフッ素原子を有する基で置換された芳香族スルホン酸を発生する化合物少なくとも1種、(A2)スルホン酸のα位がフッ素原子で置換されていないアルカンスルホン酸のオニウム塩及び/又はカルボン酸オニウム塩、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

Claim (excerpt)：

(A1)活性光線又は放射線の照射により、少なくとも1つのフッ素原子及び/又は少なくとも1つのフッ素原子を有する基で置換された芳香族スルホン酸を発生する化合物少なくとも1種、(A2)スルホン酸のα位がフッ素原子で置換されていないアルカンスルホン酸のオニウム塩及び/又はカルボン酸オニウム塩、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/004 503 , C08F 32/08 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/004 503 A , C08F 32/08 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

F-Term (39)：

2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025FA17 , 4J100AK32S , 4J100AR09P , 4J100AR09Q , 4J100AR09R , 4J100AR11P , 4J100AR11Q , 4J100AR11R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA04Q , 4J100BA10Q , 4J100BA10R , 4J100BA14Q , 4J100BA20P , 4J100BA20Q , 4J100BA20R , 4J100BC04Q , 4J100BC07Q , 4J100BC07R , 4J100BC36P , 4J100BC53P , 4J100BC53Q , 4J100BC53R , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100JA32 , 4J100JA43

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

光酸発生剤のブレンドを含むフォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-042690 Applicant：シップレーカンパニーエルエルシー

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