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J-GLOBAL ID：200903011173030263

ワイヤソーの電力供給装置

Inventor： 高橋 康弘 ,  芝岡 伸治 ,  片町 省三 ,  松原 覚 ,  関山 篤蔵
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密 ,  株式会社エヌエスエンジニアリング
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995117399
Publication number (International publication number)：1996309738
Application date： May. 16, 1995
Publication date： Nov. 26, 1996
Summary：

【要約】【目的】往復走行するワイヤの減速走行時に発生する回生電流を加速走行時に有効利用して電力の節約を図るとともに、ワイヤソーに電力を供給する電源の容量の適正化を図るワイヤソーの電力供給装置を提供する。【構成】本発明のワイヤソーの電力供給装置は、サーボアンプ124の入力端子間に接続されたコンデンサ122が、駆動モータ126の減速回転時に発生する回生電力を充電し、駆動モータ126の加速回転時に、このコンデンサ122に充電された回生電力をサーボアンプ124を介して駆動モータ126に出力する。これによれば、ワイヤの加速走行時のために大容量の電源を設備する必要はなくなり、かつ駆動モータに要する電力が節約される。また、コンデンサ122はバックアップ電源として作用し、瞬時の停電等によって駆動モータ126がフリーラン状態になるのを防止している。即ち、ワイヤを走行させる複数の駆動モータがフリーラン状態になると、これらの駆動モータの同期がとれずワイヤを切断してしまう恐れがあるがコンデンサ122にはこれを防止する効果がある。

Claim (excerpt)：

一対のワイヤリールを正転及び逆転させてワイヤを往復走行させるモータと、前記モータの回転速度及び回転方向の制御を行うサーボアンプと、前記モータの駆動電圧として前記サーボアンプの入力端子に直流電圧を入力する直流電源と、を有してワークをワイヤ列に押し当て多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記サーボアンプの入力端子間に設けられ、前記モータの減速回転時に発生する回生電流を電力として蓄積し、前記モータの加速回転時に前記減速回転時に蓄積した前記電力を前記モータに供給する電力蓄積供給手段と、を備えたことを特徴とするワイヤソーの電力供給装置。

IPC (2)：

B28D 5/04 ,  B24B 27/06

FI (2)：

B28D 5/04 C ,  B24B 27/06 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-241130
  
• ワイヤソー及びその切断方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-004447   Applicant：信越半導体株式会社
• インバータ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-000988   Applicant：三菱電機株式会社