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J-GLOBAL ID:200903011199868796
PbTiO3配向膜の製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994272324
Publication number (International publication number):1996133730
Application date: Nov. 07, 1994
Publication date: May. 28, 1996
Summary:
【要約】【目的】配向化が困難であった(111)配向Pt基板の表面に対して(100)優先配向したPbTiO3 薄膜を作製する。【構成】PbとTiの複合アルコキシドを含む前駆体溶液を調製し、(111)方向に軸配向させたPt基板上にこの前駆体溶液を塗布した後、この塗布物を200〜400°Cの温度範囲内で熱処理し、さらに熱処理後の基板を500〜800°Cで焼成して結晶化させるものであり、さらに上記方法において、PbとTiの複合アルコキシドを含む前駆体溶液を調製した後、前駆体溶液を加水分解して、重縮合したゾルを含む溶液を調製し、上記と同様に塗布、熱処理、焼成を行う。
Claim (excerpt):
PbとTiの複合アルコキシドを含む前駆体溶液を調製する工程と、<111>方向に軸配向させたPt基板上に前記前駆体溶液を塗布する工程と、該塗布物を200〜400°Cの温度範囲内で熱処理を行う工程と、該熱処理後の基板を500〜800°Cで焼成して結晶化させる工程とを具備してなる、<100>方向に優先配向したPbTiO<SB>3 </SB>配向膜の製造方法。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
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強誘電体薄膜の結晶配向性制御方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-057242
Applicant:三菱マテリアル株式会社
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