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J-GLOBAL ID：200903011199868796

PbTiO3配向膜の製造方法

Inventor： 永仮 尚謙 ,  神垣 耕世 ,  ウエイ ウエイ
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994272324
Publication number (International publication number)：1996133730
Application date： Nov. 07, 1994
Publication date： May. 28, 1996
Summary：

【要約】【目的】配向化が困難であった(111)配向Pt基板の表面に対して(100)優先配向したPbTiO3 薄膜を作製する。【構成】PbとTiの複合アルコキシドを含む前駆体溶液を調製し、(111)方向に軸配向させたPt基板上にこの前駆体溶液を塗布した後、この塗布物を200〜400°Cの温度範囲内で熱処理し、さらに熱処理後の基板を500〜800°Cで焼成して結晶化させるものであり、さらに上記方法において、PbとTiの複合アルコキシドを含む前駆体溶液を調製した後、前駆体溶液を加水分解して、重縮合したゾルを含む溶液を調製し、上記と同様に塗布、熱処理、焼成を行う。

Claim (excerpt)：

PbとTiの複合アルコキシドを含む前駆体溶液を調製する工程と、<111>方向に軸配向させたPt基板上に前記前駆体溶液を塗布する工程と、該塗布物を200〜400°Cの温度範囲内で熱処理を行う工程と、該熱処理後の基板を500〜800°Cで焼成して結晶化させる工程とを具備してなる、<100>方向に優先配向したPbTiO<SB>3 </SB>配向膜の製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 強誘電体薄膜の結晶配向性制御方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-057242   Applicant：三菱マテリアル株式会社