塗布方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：米田潤三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996186576
Publication number (International publication number)：1998005690
Application date： Jun. 27, 1996
Publication date： Jan. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】大型ガラス基板等の枚葉タイプの被塗布基板に対して感光性の塗布膜を均一に形成でき、かつ、塗布液の使用効率の高い塗布方法を提供する。【解決手段】上方に向って開口するとともに水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布ヘッドに加温して粘度を低下させた感光性の塗布液を供給し、この塗布液をスリットから吐出させてビードを形成し、被塗布基板の塗布面に塗布液を付着させることによって塗布液を急速に冷却して均一な厚みの塗布膜を維持するとともに塗布液の使用効率を高くする。

Claim (excerpt)：

上方に向って開口するとともに水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布ヘッドに加温された感光性の塗布液を供給し、該塗布液を前記スリットから吐出させて前記塗布ヘッドの上方を通って斜め上方向に相対的に移動する被塗布基板と前記塗布ヘッドの間にビードを形成し、該ビードから被塗布基板の塗布面に塗布液を付着させることによって前記被塗布基板への塗布液の塗布を行うことを特徴とした塗布方法。

IPC (2)：

B05D 7/04 , B05C 3/18

FI (2)：

B05D 7/04 , B05C 3/18

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

特開平4-038621
特開平1-203073
レジスト塗布装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-237760 Applicant：株式会社日立製作所

Cited by examiner (5)

特開平4-038621
特開平1-203073
特開平1-203073

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