塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長門侃二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995325616
Publication number (International publication number)：1997160020
Application date： Dec. 14, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】ステージ上に異なる形状および大きさのガラス基板を確実に吸着でき、種々のサイズのガラ基板に塗膜を形成することができる塗布装置および塗布方法並びにこれら塗布装置および塗布方法を用いたカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】カラーフィルタの製造に好適した塗布方法を実施する塗布装置は、ステージ6の表面にその中央を対称中心として対称に分布された多数の吸引孔74を備えており、これら吸引孔74には、ガラス基板Aのサイズに応じて、それらガラス基板Aの輪郭を象る複数組の吸引孔配列Rが含まれている。

Claim (excerpt)：

塗布液を供給する供給手段と、前記供給手段から塗布液の供給を受け、一方向に延びる吐出口から塗布液を吐出可能な塗布器と、被塗布部材を載置可能なステージと、前記ステージの表面に載置された前記被塗布部材を前記ステージに吸着させる吸着手段と、前記塗布器から塗布液が吐出されたとき、前記塗布器または前記ステージの少なくとも一方を相対的に移動させ、前記被塗布部材の表面に塗布液の塗膜を形成させる移動手段とを具備する塗布装置において、前記吸着手段は、前記ステージの表面にその中央を対称中心として分布されかつ前記表面を吸着面として構成する多数の吸引孔を含んでおり、これら吸引孔は、種々の形状およびサイズを有した被塗布部材の輪郭を象るようにして並ぶ複数組の吸引孔配列を有していることを特徴とする塗布装置。

IPC (3)：

G02F 1/1335 505 , B05D 1/26 , G02F 1/13 101

FI (3)：

G02F 1/1335 505 , B05D 1/26 Z , G02F 1/13 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

吸着テーブル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-228154 Applicant：小長井春雄
特開平2-177033

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