Pat
J-GLOBAL ID：200903011245835806

フローセンサ故障判定装置及びその方法

Inventor：
小田 清志

About 小田 清志

, 
山浦 路明

About 山浦 路明


Applicant, Patent owner：
矢崎総業株式会社

About 矢崎総業株式会社


Agent (1)： 三好 秀和 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999128778
Publication number (International publication number)：2000321107
Application date： May. 10, 1999
Publication date： Nov. 24, 2000
Summary：
【要約】【課題】 サーモパイルにダスト等が付着してフローセンサが故障した場合にそのフローセンサが故障したことを容易に判定でき、これによって、流体の流量の誤計測をなくすフローセンサ故障判定装置及びその方法を提供する。【解決手段】 マイクロフローセンサ1のマイクロヒータ4が流体を加熱すると、マイクロヒータ4の加熱と並行して、上流側サーモパイル8は、マイクロヒータ4による加熱前の流体の温度を検出し、下流側サーモパイル5は、マイクロヒータ4による加熱後の流体の温度を検出する。そして、第1の電圧測定部35は、下流側サーモパイル5の両端電極間の電圧を測定し、第2の電圧測定部37は、上流側サーモパイル8の両端電極間の電圧を測定し、故障判定部43は、第1の電圧測定部35で測定された両端電極間の電圧に基づく抵抗値及び第2の電圧測定部37で測定された両端電極間の電圧に基づく抵抗値に基づきマイクロフローセンサ1の故障の有無を判定する。
Claim (excerpt)：
流体を加熱するヒータ、このヒータに対して前記流体の上流側に配置され、前記流体の温度を検出する上流側サーモパイル、及び前記ヒータに対して前記流体の下流側に配置され、前記流体の温度を検出する下流側サーモパイルを有するフローセンサと、前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルのそれぞれで検出された熱起電力信号の差値に基づき流体の流速または流量を計測する計測手段と、前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルのそれぞれの抵抗値を測定する抵抗測定手段と、この抵抗測定手段で測定された抵抗値に基づき前記フローセンサの故障の有無を判定する故障判定手段と、を備えることを特徴とするフローセンサ故障判定装置。
IPC (2)：
G01F 1/68 ,  G01D 5/12
FI (2)：
G01F 1/68 ,  G01D 5/12 Z
F-Term (7)：
2F035EA04 ,  2F035EA05 ,  2F035EA08 ,  2F035EA09 ,  2F077AA02 ,  2F077EE09 ,  2F077TT06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM