Pat
J-GLOBAL ID:200903011255289524
ラップ盤の製造方法と使用方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
柳川 泰男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003148163
Publication number (International publication number):2004345073
Application date: May. 26, 2003
Publication date: Dec. 09, 2004
Summary:
【課題】表面に多数の砥粒が埋め込み固定されたラップ板を、短時間で製造する方法を提供すること。【解決手段】金属盤14、その表面に砥粒スラリ17を供給するスラリ供給具18、金属盤上の砥粒を金属盤に押し付ける砥粒押し付け具19、そして砥粒押し付け具に付設された超音波振動発生手段20を用意する工程、金属盤上に砥粒押し付け具を配置し、超音波振動発生手段により超音波振動を砥粒押し付け具に付与しながら金属盤を回転させ、同時に金属盤上に砥粒スラリを供給することにより、金属盤と砥粒押し付け具との間に砥粒スラリを介在させ、砥粒スラリ中の砥粒を、砥粒押し付け具を介して付与された超音波振動の振動エネルギーの影響の下に金属盤の表面に埋め込み固定する工程、および金属盤上から未固定の砥粒を含む砥粒スラリを除去する工程を含む表面に砥粒が埋め込み固定されたラップ盤の製造方法。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
下記の工程を含む、表面に砥粒が粒子の一部を露出した状態にて埋め込み固定されたラップ盤の製造方法:
(1)軟質金属表面を有する金属盤、金属盤表面に砥粒スラリを供給する砥粒スラリ供給具、金属盤表面に供給された砥粒を金属盤表面に押し付ける、硬質表面を備えた砥粒押し付け具、そして金属盤及び/又は砥粒押し付け具に付設されている超音波振動発生手段を用意する工程;
(2)上記金属盤の表面に該砥粒押し付け具を配置し、超音波振動発生手段にて発生する超音波振動を金属盤及び/又は砥粒押し付け具に付与しながら、該金属盤を、その表面に垂直な軸を中心に回転させ、同時に該金属盤表面に砥粒スラリ供給具から砥粒スラリを供給することにより、金属盤と砥粒押し付け具表面との間に砥粒スラリを介在させ、これにより、該砥粒スラリ中の砥粒を、金属盤及び/又は砥粒押し付け具を介して付与された超音波振動の振動エネルギーの影響の下に金属盤の表面に、粒子の一部を露出した状態にて埋め込み固定する工程;
および
(3)金属盤表面から、未固定の砥粒を含む砥粒スラリを除去する工程。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (5):
3C063AB05
, 3C063BB02
, 3C063BG07
, 3C063BH04
, 3C063CC21
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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研磨装置及び方法と磁気ヘッドと磁気記録再生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-057295
Applicant:富士通株式会社
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特開昭64-061397
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特開平4-132691
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研磨方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-091405
Applicant:松下電器産業株式会社
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複合材料のポリシング加工方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-012716
Applicant:株式会社ノリタケカンパニーリミテド
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