ガス又はガス混合気を検出する装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：須田正義
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007503226
Publication number (International publication number)：2007529722
Application date： Mar. 04, 2005
Publication date： Oct. 25, 2007
Summary：

ガス又はガス混合気を検出する装置は、SGFET(1)として形成された少なくとも1つの第1のガスセンサと、それに加えて、ルントシュトレーム-FET(2)として形成された、少なくとも1つの第2のガスセンサを有している。ガスセンサは、評価装置と接続されており、その評価装置は、ガス又はガス混合気を検出するために2つの種類のガスセンサの測定信号(22、23)を評価するように形成されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ルントシュトレーム-FET(2)として形成された少なくとも1つのガスセンサを有する、ガス又はガス混合気を検出する装置において、装置がルントシュトレーム-FET(2)に加えて、SGFET(1)として形成された少なくとも1つのガスセンサを有しており、少なくとも1つのルントシュトレーム-FET(2)と少なくとも1つのSGFET(1)が、評価装置と接続されており、前記評価装置が、ガス又はガス混合気を検出するために2つの種類のガスセンサの測定信号(23,24)を評価するように形成されていることを特徴とするガス又はガス混合気を検出する装置。

IPC (2)：

G01N 27/00 , G01N 27/414

FI (2)：

G01N27/00 J , G01N27/30 301Z

F-Term (18)：

2G060AA01 , 2G060AB03 , 2G060AB07 , 2G060AB10 , 2G060AE19 , 2G060AF07 , 2G060AG10 , 2G060AG15 , 2G060BB02 , 2G060BB09 , 2G060DA14 , 2G060DA33 , 2G060HB06 , 2G060HC02 , 2G060HC11 , 2G060HC18 , 2G060HD03 , 2G060KA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

DE4333875C2

Cited by examiner (13)

特開昭54-080196
特開昭58-129239
マスクを通じてまた選択的にこのマスクを閉じて全面的な層を析出するための方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平6-523756 Applicant：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト

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