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J-GLOBAL ID：200903011523540138
高周波発振装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998000481
Publication number (International publication number)：1998214698
Application date： Jan. 05, 1998
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：
【要約】【目的】 プラズマ発生用の高周波発振装置を提供する。【構成】 インダクタンスコイルと、キャパシタンス装置と、トランジスタ装置とを有する発振回路が設けられており、前記キャパシタンス装置は、回路内に高周波発振を維持するためコイルと共に動作し、前記トランジスタ装置は発振を駆動するためのものであり、かつソース端子、ドレイン端子およびゲート端子を有し、前記キャパシタンス装置はドレイン端子とソース端子との間でコイルと直列に接続されており、主電圧装置が接続されており、該主電圧装置は、DC主電圧をドレイン端子とソース端子との間に供給し、電力をトランジスタ装置および発振器回路に供給し、さらにフィードバック装置が設けられており、該フィードバック装置は発振に応答し、かつ発振を駆動するためにトランジスタ装置にポジティブフィードバックを与えるようゲート端子に接続されている。
Claim (excerpt)：
高周波発振装置において、インダクタンスコイルと、キャパシタンス装置と、トランジスタ装置とを有する発振回路が設けられており、前記キャパシタンス装置は、回路内に高周波発振を維持するためコイルと共に動作し、前記トランジスタ装置は発振を駆動するためのものであり、かつソース端子、ドレイン端子およびゲート端子を有し、前記キャパシタンス装置はドレイン端子とソース端子との間でコイルと直列に接続されており、主電圧装置が接続されており、該主電圧装置は、DC主電圧をドレイン端子とソース端子との間に供給し、電力をトランジスタ装置および発振器回路に供給し、さらにフィードバック装置が設けられており、該フィードバック装置は発振に応答し、かつ発振を駆動するためにトランジスタ装置にポジティブフィードバックを与えるようゲート端子に接続されている、ことを特徴とする高周波発振装置。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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