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J-GLOBAL ID：200903011603142362

検査装置及び検査方法

Inventor： 小松 宏一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 宮川 貞二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997325296
Publication number (International publication number)：1999142345
Application date： Nov. 11, 1997
Publication date： May. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】 観察者が反射光により眩惑されず、また、パターンによる回折光に拘わらず膜厚むらを判別できる外観検査装置及び外観検査方法を提供する。【解決手段】 被検物体W1からの散乱光を目視で観察することにより被検物体W1の外観を検査する検査装置において、被検物体W1に対して照明光を斜め方向から照射する照明系1を設け、照明系1は、照明系1側に前記目視による観察方向が位置するように設定されている外観検査装置。目視による観察方向が照明系1側に位置するように設定されているので、照明光の被検物体W1による正反射光が直接観察者の目に入射することがない。

Claim (excerpt)：

所定のパターンが形成された基板と該基板上に形成された薄膜とを有する被検物体に対して複数の波長領域を含む照明光を照射する照明系を配置し;前記被検物体からの反射光又は回折光を目視で観察することにより前記被検物体の外観を検査するように構成されたことを特徴とする;検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭62-002107
  
• 特開平2-189447
  
• 基板外観検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-158126   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 特開昭62-043504