粘着剤組成物およびその利用方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997030172
Publication number (International publication number)：1998226776
Application date： Feb. 14, 1997
Publication date： Aug. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】ウエハ裏面の研摩時に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために用いられるウエハ表面保護シートに好適に用いられ、特に粘着シート剥離時の剥離帯電圧が非常に小さく、しかも粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるような粘着剤組成物を提供することを目的としている。【解決手段】本発明に係る粘着剤組成物は、(A)(a)カルボキシル基含有重合性モノマーと、(b)該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより得られるカルボキシル基含有共重合体と、(B)中和剤と、(C)架橋剤とからなることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

(A)(a)カルボキシル基含有重合性モノマーと、(b)該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより得られるカルボキシル基含有共重合体と、(B)中和剤と、(C)架橋剤とからなることを特徴とする粘着剤組成物。

IPC (7)：

C09J157/10 , C09J 7/02 , C09J133/02 , C09J133/14 , C09J163/00 , C09J175/04 , H01L 21/304 321

FI (7)：

C09J157/10 , C09J 7/02 Z , C09J133/02 , C09J133/14 , C09J163/00 , C09J175/04 , H01L 21/304 321 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

ウエハ表面保護シートおよびその利用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-338626 Applicant：リンテック株式会社
特開昭63-296222
特公平5-077284

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