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J-GLOBAL ID：200903011879086407

エアーフィルタのリーク検査方法およびそのエアーフィルタの製造方法

Inventor： 大塚 一彦 ,  住岡 將行
Applicant, Patent owner： ニッタ株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994271359
Publication number (International publication number)：1996136437
Application date： Nov. 04, 1994
Publication date： May. 31, 1996
Summary：

【要約】【目的】 リーク検査用粒子としてシリカ粒子を用いることにより、2次汚染を生じることがなく、またリーク検査の信頼性を高めることができる高性能エアーフィルタのリーク検査方法を提供すること。【構成】 コロイド状シリカの懸濁液をスプレーした後に乾燥させ、生成したシリカ粒子を超高性能エアーフィルタ20の上流側の気流中に投入すること、および超高性能エアーフィルタ20の下流側にリークしてくる該シリカ粒子を、粒子検出器Bを用いて検出すること、を包含する高性能エアーフィルタのリーク検査方法。

Claim (excerpt)：

コロイド状シリカの懸濁液をスプレーした後に乾燥させ、生成したシリカ粒子をエアーフィルタの上流側の気流中に投入すること、およびエアーフィルタの下流側にリークしてくる該シリカ粒子を、粒子検出器を用いて検出すること、を包含するエアーフィルタのリーク検査方法。

IPC (2)：

G01N 15/08 ,  B01D 46/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• フィルタの試験方法及びそれに用いる微粒子の発生方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-163442   Applicant：沖電気工業株式会社
• 特開昭53-065298
  
• 特開昭62-143818