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J-GLOBAL ID：200903011885024189

圧電薄膜式非接触走査型力顕微鏡

Inventor： 須賀 唯知 ,  伊藤 寿浩
Applicant, Patent owner： 須賀 唯知
Agent (1)： 飯沼 義彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993120913
Publication number (International publication number)：1994137856
Application date： Apr. 23, 1993
Publication date： May. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、試料表面の微細な組織構造を表面とプローブとの間の相互作用を利用して画像化する走査型プローブ顕微鏡に関し、特に試料表面の力の勾配の検出装置を簡素化できるようにするものである。【構成】 薄膜弾性体としてのプローブ1のチップと試料7の表面との間に働く力の勾配を非接触状態で検出するための検出機構が、プローブ1に電極,圧電薄膜,電極の順に層着された少なくとも3層の低曲げ剛性をもつ層構造2と、プローブ1と層構造2とからなるカンチレバーCをその固有振動数で外部より励起振動させる圧電体励振機構8と、層構造2の圧電薄膜のアドミッタンス変化を電圧信号に変換して増幅する増幅器5とから構成されている。これにより試料7の表面の力の勾配の検出装置が簡素化されて、超高真空中で動作する走査型力顕微鏡を容易に実現できるようになる。

Claim (excerpt)：

試料用保持台と、同保持台上の試料に対向しうるように配設されて先端にチップを有するプローブを備えるとともに、同プローブのチップと上記試料の表面との間の距離に応じて変化する物理量として同プローブのチップと上記試料との間に働く力の勾配を非接触状態で検出するための検出機構を備えた検出装置と、上記の試料およびプローブ相互間の3次元での相対的な位置関係を変化させる精密微動機構と、上記試料表面の凹凸情報を得るべく上記検出装置からの検出信号に基づいて上記精密微動機構に走査制御信号を送出する制御機構とを備えた非接触走査型力顕微鏡において、上記プローブが、薄膜弾性体として形成され、上記検出機構が、上記薄膜弾性体としてのプローブに電極,圧電薄膜,電極の順に層着された少なくとも3層の低曲げ剛性をもつ層構造と、上記のプローブと層構造とからなるカンチレバーをその固有振動数で外部より励起振動させる圧電体励振機構と、上記層構造の圧電薄膜のアドミッタンス変化を電圧信号に変換して増幅する増幅器とから構成されていることを特徴とする、圧電薄膜式非接触走査型力顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28