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J-GLOBAL ID:200903011934611389

試料ホルダー

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 坂野 博行
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006235120
Publication number (International publication number):2007115666
Application date: Aug. 31, 2006
Publication date: May. 10, 2007
Summary:
【課題】本発明は、上記問題点を解決すべく、ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りの傾斜を大幅に改善可能な試料ホルダーを提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の試料ホルダーは、ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台と、前記ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りに回転可能な軸傾斜機構とを有し、前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための支点保持部材とは無関係に軸傾斜可能な機構であることを特徴とする。【選択図】 図3
Claim (excerpt):
ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台と、前記ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りに回転可能な軸傾斜機構とを有し、前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための支点保持部材とは無関係に軸傾斜可能な機構であることを特徴とする試料ホルダー。
IPC (4):
H01J 37/20 ,  G01N 23/04 ,  G01N 23/225 ,  G01N 1/28
FI (5):
H01J37/20 C ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  H01J37/20 D ,  G01N1/28 W
F-Term (22):
2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA11 ,  2G001BA30 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001CA10 ,  2G001GA08 ,  2G001JA07 ,  2G001KA01 ,  2G001PA12 ,  2G001PA15 ,  2G001QA01 ,  2G001QA10 ,  2G001RA01 ,  2G001RA03 ,  2G052AD52 ,  2G052DA33 ,  2G052GA33 ,  5C001AA05 ,  5C001CC01 ,  5C001CC04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1) Cited by examiner (2)
  • 特開昭62-044942
  • 試料ホルダ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平10-007011   Applicant:日本電子株式会社

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