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J-GLOBAL ID：200903012272585648

モアレ縞を用いたずれ、パタ-ンの回転、ゆがみ、位置ずれ検出方法

Inventor：
森本 吉春

About 森本 吉春

, 
藤垣 元治

About 藤垣 元治

, 
松井 徹

About 松井 徹

, 
李 志遠

About 李 志遠


Applicant, Patent owner：
国立大学法人 和歌山大学

About 国立大学法人 和歌山大学


Agent (6)： 杉村 興作 ,  徳永 博 ,  岩佐 義幸 ,  藤谷 史朗 ,  来間 清志 ,  冨田 和幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005260836
Publication number (International publication number)：2007071769
Application date： Sep. 08, 2005
Publication date： Mar. 22, 2007
Summary：
【課題】モアレ縞を観察することにより、画素オーダー以下の精度で、容易に画素合わせや位置合わせを行なうことを目的とする。【解決手段】ピッチが2画素のテストパターンを表示もしくは貼付したパターンを画素が2次元に配列している撮像素子により撮影し、撮影された画像に対して隣り合う上下左右の4画素との差の絶対値の和を計算する画像処理を行い、所定のモアレ縞本数を具えるモアレパターンが得ることにより、光学系のずれ、パターンの回転及び位置のずれを検出する。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
ピッチが2画素のテストパターンを表示もしくは貼付したパターンを画素が2次元に配列している撮像素子により撮影し、撮影された画像に対して隣り合う上下左右の4画素との差の絶対値の和を計算する画像処理を行い、所定のモアレ縞本数を具えるモアレパターンを得ることを特徴とする光学系のずれ、パターンの回転及び位置のずれ検出方法。
IPC (3)：
G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G06T 1/00
FI (3)：
G01B11/00 H ,  G01B11/26 H ,  G06T1/00 305C
F-Term (39)：
2F065AA09 ,  2F065AA20 ,  2F065AA39 ,  2F065AA53 ,  2F065CC17 ,  2F065CC21 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF06 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL62 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ33 ,  2F065RR06 ,  2F065RR09 ,  2F065UU05 ,  2F065UU07 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC02 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (4)
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