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J-GLOBAL ID:200903078249432142
DMDを用いたCCDカメラによる実時間形状計測方法と装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
杉村 興作 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001026564
Publication number (International publication number):2002228425
Application date: Feb. 02, 2001
Publication date: Aug. 14, 2002
Summary:
【要約】【課題】 位相シフト走査モアレ法によって物体が動く場合でも小さい誤差で等高線画像又は等変位線画像を実時間で得ることができる実時間形状計測用CCDカメラを提供する。【解決手段】 DMD表面に物体の像をいったん結像させ、そのDMD表面結像した像をさらにレンズを通してCCD表面に結像させるように構成した。等高線画像を撮影する場合、格子を試料物体に位相シフトしながら投影し、CCDで1フレーム撮影する間にDMDの各ミラーのオン/オフを前記投影格子の位相シフト量に応じて制御しながら撮影する。等変位線画像を撮影する場合、格子を試料物体に位相シフトしながら投影し、予め求めておいた物体の変形前の位相分布を元に、CCDで1フレーム撮影する間にDMDの各ミラーのオン/オフする画素を投影格子の位相シフト量に応じて制御しながら撮影する。
Claim (excerpt):
DMDと、前記DMDの表面に物体の像を結像する第1レンズと、CCDと、前記DMDの表面に反射された像をさらに前記CCDに結像する第2レンズとを具えることを特徴とする実時間形状計測用CCDカメラ。
IPC (3):
G01B 11/24
, G02B 26/08
, H04N 5/225
FI (4):
G02B 26/08 E
, H04N 5/225 D
, H04N 5/225 Z
, G01B 11/24 K
F-Term (28):
2F065AA04
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065FF07
, 2F065HH07
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065NN05
, 2F065NN12
, 2F065PP22
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065RR07
, 2F065SS13
, 2F065UU02
, 2F065UU05
, 2H041AA11
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ00
, 2H041AZ05
, 5C022AA01
, 5C022AB43
, 5C022AC42
, 5C022AC51
, 5C022AC78
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
-
カメラ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-196557
Applicant:株式会社ニコン
-
検出装置及びそれを用いた露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-131132
Applicant:キヤノン株式会社
-
リアルタイム形状変形計測方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-179950
Applicant:和歌山大学長
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