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J-GLOBAL ID:200903012521985031

凹凸基材への塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイの製造装置および方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伴 俊光
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998060446
Publication number (International publication number):1999239751
Application date: Feb. 25, 1998
Publication date: Sep. 07, 1999
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 プラズマディスプレイのように一定の凹凸状パターンが形成された基材の凹部に塗液を塗布するに際し、基材のストライプ方向等に合わせて基材の凹部のみに精度良く均一に塗液を塗布する。【解決手段】 表面に一方向にストライプ状に一定ピッチで凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブル6と、凹凸基材の凹凸部と対面して複数の開口部44を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗液を供給する供給手段50と、テーブルと塗液吐出装置を3次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置において、凹凸基材のストライプ方向検知手段と、塗液吐出装置の開口部検知手段と、開口部の凹部に対する相対位置検知手段と、開口部の位置を凹凸基材の凹部に位置決めし、ストライプ方向に沿って開口部を凹部に対し相対的に移動させる制御手段とを有する。
Claim (excerpt):
表面に一方向にストライプ状に一定ピッチで凹凸部が形成されている凹凸基材を固定するテーブルと、凹凸基材の凹凸部と対面して複数の開口部を有する塗液吐出装置と、塗液吐出装置に塗液を供給する供給手段と、テーブルと塗液吐出装置を3次元的に相対移動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置において、凹凸基材のストライプ方向を直接または間接的に検知するストライプ方向検知手段と、塗液吐出装置の開口部の位置を直接または間接的に検知する開口部検知手段と、塗液吐出装置の開口部の凹凸基材の凹部に対する相対位置を検知する相対位置検知手段と、塗液吐出装置の開口部の位置を凹凸基材の凹部に位置決めするとともに、検知した凹凸基材のストライプ方向に沿って塗液吐出装置の開口部が凹凸基材の凹部に対し相対的に移動するように制御する制御手段とを有することを特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布装置。
IPC (3):
B05C 5/02 ,  G02F 1/13 101 ,  H01J 9/227
FI (3):
B05C 5/02 ,  G02F 1/13 101 ,  H01J 9/227 E
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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