焦電型赤外線検出素子及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小鍜治明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994281970
Publication number (International publication number)：1996145799
Application date： Nov. 16, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】焦電体を用いて赤外線を検出する焦電型赤外線検出素子に関するもので、熱容量が小さく熱応答性に優れ、低コスト、小型化そして集積化が可能で生産性に優れた信頼性の高い焦電型赤外線検出素子を提供することを目的とする。【構成】 MgO単結晶基板11の(100)面上に(010)面方位に対しほぼ45°の方向にした焦電体13を設け、同じく45°の線上に並べた2個以上のエッチング穴14を介して空洞15を形成する。エッチング速度が選択性をもつ為、ピラミッド型の空洞が出来、この上に効率的に焦電体が乗ることになる。

Claim (excerpt)：

表面が(100)面の立方晶の単結晶からなる基板と、この表面上にあり(010)面に対して略45°の線上に並んだ複数の穴と前記基板上にあり前記穴と穴の間に設けた焦電体と、この焦電体と前記穴との下部に設けた空洞とからなる焦電型赤外線検出素子。

IPC (2)：

G01J 5/02 , G01J 1/02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

赤外線センサおよびその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-110763 Applicant：株式会社村田製作所
特開昭63-243817
特開昭54-016699

Cited by examiner (3)

赤外線センサおよびその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-110763 Applicant：株式会社村田製作所
特開昭63-243817
特開昭54-016699

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