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J-GLOBAL ID：200903012851284021

プロフィルメータ用の較正標準、製造する方法及び測定方法

Inventor： トマス・バイヤー ,  ヨハン・グレシュナー ,  イヴ・マルタン ,  クラウス・マイスナー ,  ヘルガ・ヴァイス
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 合田 潔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995082715
Publication number (International publication number)：1995287023
Application date： Apr. 07, 1995
Publication date： Oct. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 プロフィルメーター用、特に走査トンネリング顕微鏡(STM)または原子間力顕微鏡(AFM)用の、高精度であり、頻繁な探針チップの取外しなしで較正測定を行える、較正標準を提供すること。【構成】 本発明の1つの較正標準は、少なくとも2つのV字形の溝2を有し、溝2間の山形部分の対向側壁3a、3bが鋭いブレード3を与えるように形成された単結晶材料1からなる。この較正標準は探針チップの径を測定するのに用いられる。山形部分の代わりに柱またはリッジ構造を有する較正標準は探針チップのテーパ角を測定するのに用いられる。

Claim (excerpt)：

少なくとも2つのV字形の溝を有し、前記溝のすべてが同一の幅対深さ比を有する、単結晶材料の支持構造を含む較正標準。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01N 1/00 102

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 測定される変位の量を較正する標準試料の製法及び標準試料並びに測定装置及び較正方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-030062   Applicant：大見忠弘
• 特開平4-289411
  
• 特開平4-301501